睿励科学仪器（中微公司占34.75%第一大股东）2.拓荆科技-薄膜沉积龙头。1.中微公司-刻烛龙头。同时布局薄膜沉积、量测1)、刻烛龙头。中微公司>。拓荆科技>。参股拓荆科技8.4%3)、量测。芯源微>。全面布局2)、MOCVD龙头。盛美上海>。布局EPI&。LPCAD。
优选顺序：中微公司>拓荆科技>北方华创>盛美上海>芯源微>华海清科
详细标的如下：
逻辑要点：
1.中微公司 - 刻烛龙头，同时布局薄膜沉积、量测
1)、刻烛龙头，全面布局
2)、MOCVD龙头，布局EPI&LPCAD，参股拓荆科技8.4%
3)、量测，睿励科学仪器（中微公司占34.75%第一大股东）
2.拓荆科技 - 薄膜沉积龙头
